超高效空氣過濾器簡稱ULPA過濾器，按照GB/13554—2020之規(guī)定，使用計數(shù)法測算進(jìn)行逐臺檢測，額定風(fēng)量下未經(jīng)消除靜電處理時的過濾效率及消靜電處理后的過濾效率均不低于99.999%的過濾器可認(rèn)定為超高效空氣過濾器（ULPA -FILTER）。同樣，也可以根據(jù)EN1822標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測試，測試過濾器上下游粒子濃度， ULPA級效率范圍在99.999~99.999999%@0.1~0.2um。

按過濾器濾芯結(jié)構(gòu)可分為“有隔板過濾器”和“無隔板過濾器”，其中板式高效、大風(fēng)量箱體、V-bank過濾網(wǎng)都屬于無隔板過濾器。超高效過濾器的生產(chǎn)環(huán)境必須符合相應(yīng)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，即10萬級潔凈室和萬級潔凈室。

作為高效過濾器國家標(biāo)準(zhǔn)修訂的參編單位，潔斐然CHINAFIL超高效空氣過濾器出廠均進(jìn)行逐臺檢漏質(zhì)檢，適用于各類潔凈室送風(fēng)系統(tǒng)的末端空氣過濾，如電子光刻區(qū)、手術(shù)室、實驗室、精密電子儀器制造、制藥等行業(yè)或工況。

（圖為潔斐然U17過濾器在某光刻黃光區(qū)的空氣凈化應(yīng)用）